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离子注入机:二十八纳米工艺实现全覆盖

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xinwen.mobi 发表于 2024-1-28 09:45:10 | 显示全部楼层 |阅读模式

离子注入机是半导体制造中的关键设备之一,主要用于在硅片上精确地注入离子,以改变硅片的电性能,从而形成不同的电子器件。二十八纳米工艺是半导体制造中的重要节点,对于提高芯片的性能和集成度具有重要意义。

全覆盖则是指在硅片上实现全面的离子注入,以保证电子器件的均匀性和一致性。这是二十八纳米工艺中的一项重要技术要求。

因此,离子注入机实现二十八纳米工艺全覆盖,意味着在半导体制造中,可以使用该设备精确地在硅片上注入离子,以形成性能优良、一致性高的电子器件,从而满足二十八纳米工艺的技术要求。
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